Kev ntxuav chav nyob rau hauv ib cheeb tsam ntawm qhov chaw muaj plua plav hauv huab cua, kev puas tsuaj ntawm cov pa roj, cov kab mob phem, xws li cov pa paug tawm, thiab qhov kub thiab txias hauv tsev, kev huv huv, lub siab hauv cov smothering, cyclone speed cyclone tawg, suab nrov, kev co thiab teeb pom kev zoo. khoom siv, zoo li qub tswj nyob rau hauv qhov tshwj xeeb specification cheeb tsam, thiab muab tshwj xeeb formulated los ntawm qhov chaw. Ntawd yog, txawm tias qhov chaw huab cua sab nraud hloov pauv li cas, huab cua tuaj yeem tswj kev huv, kub thiab av noo, siab thiab lwm yam kev ua tau zoo ntawm cov qauv qub.
Lub luag haujlwm tseem ceeb ntawm chav tu yog tswj xyuas cov hnub tu thiab qhov kub thiab av noo ntawm huab cua uas cov khoom lag luam (xws li silicon chips, thiab lwm yam) raug, kom cov khoom lag luam tuaj yeem tsim nyob rau hauv ib cheeb tsam zoo. ib puag ncig qhov chaw, uas yog hu ua chav tu. Raws li cov lus pom zoo, qib kev huv huv yog feem ntau txhais raws li tus naj npawb ntawm cov khoom nyob rau hauv txhua lub cubic meter ntawm huab cua uas nws txoj kab uas hla tshaj qhov sib faib specification. Hauv lwm lo lus, kev huv huv tsis yog qhov tsis muaj hmoov av me ntsis, tab sis nyob rau hauv ib qho me me ntawm chav nyob. Tau kawg tus qauv
Raws li cov qauv hmoov av piv rau cov hmoov av qhuav yog tam sim no me me micro tiaj tus nws cov micro, tab sis rau cov qauv hluav taws xob kho qhov muag, txawm tias me me plua plav yog qhov cuam tshuam loj heev, yog li hauv cov khoom siv hluav taws xob kho qhov muag khoom lag luam.
Yav dhau los, kev huv huv yog qhov tsim nyog.
Qhov kom muaj nuj nqis ntawm cov hmoov av me me nrog A particle loj ntawm 0.3 micron yog tswj qis dua 3500 ib lub cubic meter, uas mus txog qib A ntawm cov cai huv thoob ntiaj teb. Cov kev qhia huv huv tam sim no siv hauv cov qib nti tsim thiab ua cov hmoov av yog qib siab qhuav A, thiab cov qauv siab no feem ntau yog siv.
- Qee cov chips qib siab yog tsim rau. Qhov ntau ntawm cov hmoov av zoo ntawm 0.5um thiab hauv qab no yog tswj nruj me ntsis hauv 1000 ib lub cubic meter, uas feem ntau hu ua qib txhiab hauv kev lag luam.
Cleanroom xeev tau muab faib ua peb hom hauv qab no
Cua txias: tus nqi huv (cov khoom siv) uas tau tsim thiab npaj rau kev ua haujlwm. Nws muaj tag nrho cov kev lav phib xaub thiab kev ua haujlwm ntsig txog kev huv huv. Txawm li cas los xij, tsis muaj cov neeg ua haujlwm thiab tsis muaj cov khoom siv ntau lawm hauv tus nqi huv.
Static: txhua yam ntawm cov chav huv si yog tag nrho ua haujlwm, cov cuab yeej raug teeb tsa kom zoo, thiab chav huv huv (cov khoom siv) tuaj yeem siv los yog siv raws li Cov Chaw, tab sis tsis muaj kev ua haujlwm hauv chav huv.
Dynamic: Chav huv huv hauv kev siv ib txwm, chav huv huv ua tiav, nrog cov khoom siv thiab cov neeg ua haujlwm, yog tias tsim nyog, tuaj yeem ua haujlwm ib txwm.